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CE-IA-UVWn型微动窄台
功能描述:实现水平X-Y轴、回转R轴微动调节;
产品特点:高刚性、高精度、扁平;
系列化:行程覆盖±5~±25 mm、±3~±8°(绕中心原点).
- 商品名称： CE-IA-UVWn型微动窄台
- 产品描述
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外形尺寸图表
CE-IA-UVWn型微动窄台 序号 模块 功能点 关键参数/配置 1 系统参数 台面尺寸 - 2 作动行程/角度 ±5~±25mm ±3°~±8° 3 作动速度 5mm/s~20mm/s 5%s~20°/s 4 重复定位精度 ±1um ±0.005° 5 回程误差 ±3um~±8um 0.025° 6 平面度 10um~20um 7 载荷 5~150kg 8 典型配置 丝杆 C0~C5 9 导轨 防蠕动交叉滚子导轨 10 传感器 限位开关/磁栅尺 11 电机 交流伺服/步进伺服/步进
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