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CE-IA-XYθ型微动平台
功能描述:实现水平X-Y轴、回转R轴微动调节;
产品特点:高刚性、高精度;
系列化:行程覆盖±5~±30 mm、±5 ~±15°.
- 商品名称： CE-IA-XYθ型微动平台
- 产品描述
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外形尺寸图表
CE-IA-XYθ型微动平台 序号 模块 功能点 关键参数/配置 1 系统参数 台面尺寸 - 2 作动行程/角度 ±5~±30mm ±5~±15° 3 作动速度 5mm/s~20mm/s 10%/s~30°/s 4 重复定位精度 ±1um ±0.005° 5 回程误差 ±3um~±8um 0.025° 6 平面度 10um~20um 7 载荷 2~30kg 8 典型配置 丝杆 C0~C5 9 导轨 防蠕动交叉滚子导轨 10 传感器 限位开关/磁栅尺 11 电机 交流伺服/步进伺服/步进
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